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简要描述：产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
产品型号：Class-980A/B更新时间：2024-11-01访 问 量：187产品分类
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细节图解
洁净烘箱 型号：Class-980A/B
产品特点：
该设备是一种新型工业级洁净干燥设备，采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计，通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。
产品用途：
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
结构特点：
外壳：外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，也可选用不锈钢材质。
内胆：采用SUS304镜面不锈钢厚度1.2-1.5mm厚度之镜面不锈钢板，采用圆弧R角满焊处理，易清理，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE1。
保温层：采用高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-150mm，保温性能好。
载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。
控制系统：
★控制面板：采用PID自动演算，7寸触摸屏显示，温度、时间、曲线、可编程分段设置等参数
报警功能：带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确保产品运行安全
★加热管：加热管位于设备背面（可以有效避免液体滴到加热管上引起爆燃现象）
风道结构：
风道结构：风道采用背部吸风，上下及两侧四面吹风，确保箱内温度均匀性，采用高密度冲孔风板。
送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳 。
送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。
电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘。
洁净循环系统：
采用平面水平后边送风后，经耐高温高效过滤器H.E.P.A装置往上下及两侧四面(特殊风道设计)方向送风，0.3um直径PARTICLE，过滤效率99.97%，箱内洁净度可达Class 100。
排气口：(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温。
压差计：进口压差计，可实时监控H.E.P.A工作状态。
配全自动开关排风门，烘烤过程风门紧闭，确保内部对外封闭，防止外部排风PARTICLE回尘污染
安全功能：
采用超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能。
箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）：
超温防止器（独立限温，超温断电）；
相序保护（欠压欠相保护）；
马达过电流保护；
控制线路保险丝；
电热过电流保护；
无熔丝开关。
参数介绍：
产品名称 | 洁净烘箱 | |
产品型号 | Class-980A | Class-980B |
显示方式 | 7寸触摸屏显示，TIMI/富士品牌 | |
电源电压 | AC380V 50HZ（三相五线制） | |
控温范围 | 室温+10～200℃ | 室温+10～300℃ |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
波动度 | ±1℃ | |
均匀度 | ±1.5% | |
循环方式 | 强制对流 | |
进气口 | Φ16mm | |
箱内洁净度 | Class100/Class1000/Class10000 | |
过滤器 | 耐高温高效过滤器 | |
定时方式 | 1-9999min | |
输入功率 | 17KW | |
内胆尺寸（W*D*H）mm | 1400*700*1000 | |
外形尺寸（W*D*H）mm | 1950*1055*1790 | |
开门方式 | 双开门 | |
载物托架（标配） | 2层（承重30KG） | |
定时范围 | 0～9999min/h | |
容积 | 980L | |
重量 | 730KG | |
备注： 1.以上所有机型外观尺寸仅供参考，实际尺寸以实物为准； 2.产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制 | ||
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